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万濠Rational白光干涉仪AE-100M

型号:

更新时间:2021-03-23

简要描述:

万濠Rational白光干涉仪AE-100M结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面征和微尺寸。

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详细先容
品牌其他品牌价格区间10万-20万
产地类别国产应用领域医疗卫生,能源,航天,汽车,电气

万濠Rational白光干涉仪AE-100M

白光干涉仪AE-100M产品用途

     结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,适合各种材料与微组件表面征和微尺寸。应用领域包含:玻璃镜片、镀膜表面、晶圆、光碟/影碟、密微机电元件、平面液晶显示器、高密度线路印刷电路板、IC封装、材料分析与微表面研究等。
 白光干涉仪AE-100M产品点
● 纳米深度3D
● 高速、无接触量
● 表面形状、粗糙度分析
● 非透明、透明材质皆适用
● 非电子束、非雷射的安量测
● 低维护成本
 业级的3D图形处理与分析软体(Post Topo)
●  提供多功能又具友界面的3D图形处理与分析
●  提供自动表面平整化处理功能
●  提供高阶标准片的App自校功能
●  深度、高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式
●  线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度(Rorghness)与起伏度
●  (waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据(Wafer)
●  区域分析方式提供图形分析与统计分析
●  具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能
●  量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出
 高速密的干涉解析App(ImgScan)
● 系统硬件搭配ImgScan前处理App自动解析白光干涉条纹
● 垂直高度可达0.1nm
● 高度的分析算法则,让你不在苦候测量结果
● 垂直扫描范围的设定轻松又容易
● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择
● 平台XYZ位置数显示,使检标的寻找快速又便利
● 具有手动/自动光强度调整功能以取得的干涉条纹对比
● 具有高度的PVSI与高速VSI扫描测量模式供选择
● 具有的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌
● 具有自动布补点功能
● 可自行设定扫描方向
 技术规格参数
型号AE-100M
移动台(mm)平台尺寸100*100 ,行程13*13
物镜放大倍率10X20X50X
观察与量测范围(mm)0.43*0.320.21*0.160.088*0.066
光学分辨力(μm)0.920.690.5
收光角度(Degrees)172333
工作距离7.44.73.4
传感器分辨率640*480像素
机台重量(kg)/载重kg20kg/小于1kg
Z轴移动范围45mm , 手动细调
Z轴位置数字显示器分辨力1μm
倾斜调整平台双轴/手动调整
 高度测量
测量范围100(μm)(400μm ,选配)
量测分辨力0.1mm
重复度≤ 0.1% (量测高度:>10μm)
≤10nm(量测高度1μm   10μm)
≤ 5nm(量测高度:<1μm )
量测控制自动
扫描速度(μm/s)12(高)
 光源
光源类型仪器用卤素(冷)光源
平均使用寿1000小时100W      500小时(150W)
光强度调整自动/手动
 数据处理与显示用计算机
中央处理运算屏幕双核心以上CUP
影像与数据显示屏幕17 " 双晶屏幕
作系统Windows XP(2)
电源与环境要求AC100 --240 V     50-60Hz
环境振动VC-C等级以上
 测量分析App
量测AppImgScanImgScan测量App:具VSI/ PVSI/PSI 测量模式(PSI量测模式需另选配PSI模块搭配)
分析AppPosTopo

ISO 粗燥度/阶高分析,快速传利叶转换和滤波,多样的2D和3D
观测视角图,外形/面积/体积分析,图像缩放、标准影像文件格式转换
报表输出,程序教导测量等。

万濠Rational白光干涉仪AE-100M

 

 


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